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Alicat MC系列質量流量控制器
閱讀:165 上傳時間:2019/08/23
艾里卡特MC系列質量流量控制器可快速達到新的設定值,并保持該設定值,即使在壓力突然增加的情況下,亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節功能,確保相關產品能快速實現穩定控制。
- 多功能。MC系列質量流量控制器監控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
- 連接。MC系列質量流量控制器利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
- 耐用。MC系列質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性,我們可為您的MFC構建IP66等級防護。
性能
- 可用量程:大0-5000 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,參見零件編號標簽)
- 可調比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
- 標準精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數+0.2%滿量程)
- 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數+0.2%滿量程)
- 可重復性:0.2%滿量程
- 標準控制器響應時間常數:50-100ms(若有PID調節功能,可縮短至25ms)
- 無需預熱時間
工作條件
- 兼容氣體:98(MC系列)或130(MCS系列)種預置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
- 工作溫度:-10°C至+60°C
- 大內部壓力(靜態):145 psig(160 psia)
- 耐受壓力:175 psig(190 psia)